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申请/专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
摘要：本发明提供超疏水类金刚石碳基涂层，该涂层由氢化非晶硅底层，硅、氟共掺杂类金刚石过渡层和氟掺杂类金刚石顶层组成，通过如下步骤制得：利用激光在基材表面织构出微纳米结构，而后沉积多层涂层，通过基材表面织构化和沉积低表面能涂层两种方式相结合，提升基材的疏水性能。本发明具有使得基材表面由亲水转变为超疏水，从而获得优异的疏水性能的有益效果。
主权项：1.一种超疏水类金刚石碳基涂层，其特征在于，该涂层由氢化非晶硅底层，硅、氟共掺杂类金刚石过渡层和氟掺杂类金刚石顶层组成，所述涂层厚度为2～15μm；制备方法包括以下步骤：1基材表面织构化处理利用激光在基材表面进行织构化处理，产生具有规律的微纳米级别表面结构；2基材表面预溅射腔室本底真空度0.6～0.9Pa，使用空心阴极等离子体浸没沉积系统，利用氢气等离子体对基材表面进行2～20min的清洁活化；3涂层沉积通入硅烷氩气混合气体，在基材表面沉积氢化非晶硅底层；保持所述硅烷氩气混合气体通入，继续通入乙炔和四氟化碳，在氢化非晶硅底层上沉积制备硅含量逐渐下降，氟含量逐渐上升的硅、氟共掺杂类金刚石过渡层；关闭所述硅烷氩气混合气体，保持乙炔和四氟化碳继续通入，在过渡层上沉积氟掺杂类金刚石顶层；4四氟化碳等离子体刻蚀：利用气流量逐渐降低的四氟化碳等离子体对类金刚石涂层顶层进行刻蚀；刻蚀条件为：刻蚀时间为1～15min，工作气压为8～10Pa，在阳极上施加功率为300～400W的脉冲直流电源，频率为15～30Hz，占空比为50～70%，在基材上施加550～670V的偏压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院兰州化学物理研究所 超疏水类金刚石碳基涂层
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