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申请/专利权人：芜湖通潮精密机械股份有限公司
摘要：本发明属于化学气相沉积法技术领域的化学气相沉积碳化硅设备。反应罐体1下部设置连杆2a，连杆2a上部插入反应罐体1内部，连杆2a下部连接电机2d，连杆2a插入反应罐体1内部的位置从上到下按照间隔设置安装装置2b，安装装置2b上放置沉积基板2c，反应罐体1上安装多个用于注入液体源的蒸汽源供应喷嘴6，蒸汽源喷嘴6的蒸汽源喷管6b位于支撑外筒6a中心，蒸汽源喷射管6b外部和支撑外筒6a内部之间形成冷却水储存室6d。本发明所述的化学气相沉积碳化硅设备，结构简单，能够方便可靠实化学气相沉积作业，并且实现化学气相沉积时的高纯度沉积，提高产品品质。
主权项：1.一种化学气相沉积碳化硅设备，其特征在于：反应罐体1外表面b和内表面a之间形成冷却水箱1c，反应罐体1下部设置连杆2a，连杆2a上部插入反应罐体1内部，连杆2a下部连接电机2d，连杆2a插入反应罐体1内部的位置从上到下按照间隔设置安装装置2b，安装装置2b上放置沉积基板2c，反应罐体1上安装多个用于注入液体源的蒸汽源供应喷嘴6，蒸汽源喷嘴6的蒸汽源喷管6b位于支撑外筒6a中心，蒸汽源喷射管6b外部和支撑外筒6a内部之间形成冷却水储存室6d，冷却水储存室6d分别连通冷却水入水口6e和冷却水出水口6f，气源喷射管6b的出口6c外部连接由石墨材料制成的保护管6g，蒸汽源喷射管6b的出口6c通过连通保护管6g一端，保护管6g另一端连通向反应罐体1内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芜湖通潮精密机械股份有限公司 一种化学气相沉积碳化硅设备
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