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申请/专利权人:精智未来(广州)智能科技有限公司
摘要:本发明公开了一种微型光离子探测器及其制备方法,微型光离子探测器包括芯片,芯片包括从下而上依次设置的基底层、硅片层和金属电极层,硅片层和金属电极层中部开设成预设形状结构的窗口,窗口的顶部距离为250µm~380µm,窗口的底部距离不小于200µm。本发明提供的微型光离子探测器结构,在保证激活面积和电压一定的情况下,减少了电极间距,增大了电场,可以将极微量的检测物所电离的带电离子收集,增加了灵敏度。解决了现有的微型光离子探测器的灵敏度低的技术问题。
主权项:1.一种微型光离子探测器,其特征在于,包括芯片,芯片包括从下而上依次设置的基底层、硅片层和金属电极层;硅片层和金属电极层中部开设成预设形状结构的窗口,窗口的顶部距离为250µm~380µm,窗口的底部距离不小于200µm。
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百度查询: 精智未来(广州)智能科技有限公司 一种微型光离子探测器及其制备方法
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