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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本发明的目的是提供即使在固化性组合物的液膜厚度为厚的情形中也有利于抑制充填速度降低的技术。一种膜形成方法，包括：将固化性组合物102配置在基材101上的配置步骤；在配置步骤之后使固化性组合物102与模具107的膜形成区域接触的接触步骤；在接触步骤之后使固化性组合物102固化的固化步骤；和在固化步骤之后使固化性组合物102和模具107相互分离的分离步骤。在所述接触步骤中，存在充填所述基材101和所述模具107之间的空间的气体。所述气体相对固化性组合物102的溶解度系数为0.5kgm3·atm至10kgm3·atm。平均液膜厚度大于或等于70nm，所述平均液膜厚度是通过将固化性组合物102的体积除以所述膜形成区域的表面积获得的值。
主权项：1.一种膜形成方法，该方法包括：将固化性组合物配置在基材上的配置步骤；在配置步骤之后使固化性组合物与模具的膜形成区域接触的接触步骤；在接触步骤之后使固化性组合物固化的固化步骤；和在固化步骤之后分离固化性组合物和模具的分离步骤，其特征在于，在所述接触步骤中，存在充填所述基材和所述模具之间的空间的气体，所述气体对所述固化性组合物的溶解度系数为不小于0.5kgm3·atm且不大于10kgm3·atm，并且平均液膜厚度不小于70nm，所述平均液膜厚度是通过将固化性组合物的体积除以所述膜形成区域的面积获得的值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 膜形成方法和物品制造方法
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