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掩模和掩模的制造方法 

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申请/专利权人:大日本印刷株式会社

摘要:掩模包含:第1层,其包含第1面、位于第1面的相反侧的第2面、从第1面向第2面贯通的至少1个第1开口、和面向第1开口的第1壁面;第2层,其包含与第2面相向的第3面、位于第3面的相反侧的第4面、和从第3面向上述第4面贯通且在俯视时与第1开口重叠的多个第2开口;和第1中间层,其至少位于第2面与第3面之间。上述第1层包含硅。第2层包含树脂材料。第1壁面包含在第1层的厚度方向上排列的多个凹部。

主权项:1.一种掩模,其包含:第1层,其包含第1面、位于所述第1面的相反侧的第2面、从所述第1面向所述第2面贯通的至少1个第1开口、和面向所述第1开口的第1壁面;第2层,其包含与所述第2面相向的第3面、位于所述第3面的相反侧的第4面、从所述第3面向所述第4面贯通且在俯视时与所述第1开口重叠的多个第2开口;和第1中间层,其至少位于所述第2面与所述第3面之间,所述第1层包含硅,所述第2层包含树脂材料,所述第1壁面包含在所述第1层的厚度方向上排列的多个凹部。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 大日本印刷株式会社 掩模和掩模的制造方法

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