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申请/专利权人：株式会社日本显示器
摘要：本发明提供一种制造可靠性高的蒸镀掩模的方法。本发明的蒸镀掩模的制造方法包括：对具有开口部的框主体的第1面，以覆盖所述开口部的方式粘接第1粘接层的步骤；沿着平面视时的所述框主体的至少内缘，有选择地对与所述框主体重叠的所述第1粘接层的一部分进行曝光的步骤；在曝光后的第1粘接层上粘接第1基板的步骤；和将所述框主体作为掩模来对所述第1粘接层的一部分进行显影的步骤。
主权项：1.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包含：对具有开口部的框主体的第1面，以覆盖所述开口部的方式粘接第1粘接层的步骤；沿着平面视时的所述框主体的至少内缘，有选择地对与所述框主体重叠的所述第1粘接层的一部分进行曝光的步骤；在曝光后的第1粘接层上粘接第1基板的步骤；和将所述框主体作为掩模来对所述第1粘接层的一部分进行显影的步骤，在对所述框主体的第1面粘接所述第1粘接层之前，包含以下步骤，即：对所述框主体的与所述第1面相反一侧的第2面，以覆盖所述开口部的方式经由第2粘接层粘接第2基板的步骤；将所述框主体作为掩模来对所述第2粘接层的一部分进行显影的步骤；和在除去所述第2基板之后对所述第2粘接层进行曝光的步骤。
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