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申请/专利权人：中国航发北京航空材料研究院
摘要：本发明涉及航空发动机隐身材料技术领域，涉及一种陶瓷微球包覆铁钴镍钐钕高熵涂层及其制备方法，包括陶瓷微球选择、铁钴镍钐钕靶材制备和铁钴镍钐钕高熵涂层制备的步骤；其铁钴镍钐钕高熵涂层制备的步骤为：将铁钴镍钐钕高熵靶材装入电子束物理气相沉积设备沉积室，蒸发铁钴镍钐钕高熵靶材，铁钴镍钐钕高熵靶材的分子式为Fe0.2Co0.2Ni0.2Sm0.2Nd0.2，纯度大于98％；选择沉积工艺参数：沉积室的真空度1×10‑4Torr；电子束的束流强度1.8‑2.0A；陶瓷微球温度800‑1000℃；蒸发时间5‑60min；控制靶材蒸发时间，最终在陶瓷微球表面获得铁钴镍钐钕高熵涂层。本发明既能提升铁钴镍钐钕高熵包覆层的均匀性，又能提高陶瓷微球的电磁性能。
主权项：1.一种陶瓷微球包覆铁钴镍钐钕高熵涂层，其特征在于：所述陶瓷微球分子式为ZrO2，纯度大于95%，用过筛的方法保障陶瓷微球粒径为50~300微米；所述铁钴镍钐钕高熵涂层制备时用到的靶材的分子式为Fe0.2Co0.2Ni0.2Sm0.2Nd0.2，纯度大于98%；所述高熵涂层通过电子束物理气相沉积均匀包覆在陶瓷微球表面，其厚度在纳米级别，具有离散型和连续型两种组织结构，其成分为Fe0.2Co0.2Ni0.2Sm0.2Nd0.2，纯度为100%；所述高熵涂层通过以下步骤制备：步骤一、利用电子束熔炼的方法进行铁钴镍钐钕高熵靶材合成，其熔炼参数为加速电流20-25A，加速电压25-30kV，真空度1×10-4Torr；步骤二、将铁钴镍钐钕高熵靶材装入电子束物理气相沉积设备沉积室，蒸发铁钴镍钐钕高熵靶材，沉积工艺参数选取如下：沉积室的真空度1×10-4Torr；电子束的束流强度1.8-2.0A；陶瓷微球温度800-1000℃；蒸发时间5-60min；步骤三、冷却：将陶瓷微球冷却至150摄氏度以下，控制旋转速度，在转动的陶瓷微球表面获得铁钴镍钐钕高熵涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国航发北京航空材料研究院 一种陶瓷微球包覆铁钴镍钐钕高熵涂层及其制备方法
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