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申请/专利权人：唐山标先电子有限公司
摘要：本发明公开一种采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法，包括高功率脉冲电源、辅助电源；所述高功率脉冲电源负极与辅助电源正极串联连接，串联后的高功率脉冲电源正极作为放电负载阳极并通过负载阴极与辅助电源负极连接。本发明维护了所需的HiPIMS正常工作状态，提高了沉积速度，有效抑制弧光放电产生的靶材颗粒降低了污染镀件，从而提高了膜层性能；稳定维持高功率磁控溅射放电，直至脉冲截止；此外，由于高功率电源充电限流电感的存在，高功率脉冲放电开关管的导通不会造成高功率脉冲电源的过载而损坏；高功率电源储能电容在有效脉冲期间维持稳定的高功率脉冲放电。
主权项：1.一种采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源，包括高功率脉冲电源、辅助电源，其特征为：所述高功率脉冲电源负极与辅助电源正极串联连接，串联后的高功率脉冲电源正极作为放电负载阳极并通过负载阴极与辅助电源负极连接；所述高功率脉冲电源包括依次顺序串联的高功率脉冲充电电源、高功率电源充电限流电感、高功率电源储能电容、隔离二极管，所述高功率电源充电限流电感输出端与一高功率脉冲放电开关管及储能电容连接，所述高功率脉冲放电开关管输出端与隔离二极管的负极连接，所述储能电容另一端与隔离二极管的正极连接；所述辅助电源包括依次串联的辅助电源充电电源、辅助电源充电限流电感、辅助电源储能电容，所述辅助电源储能电容还与一续流二极管并联；所述高功率脉冲充电电源的功率大于所述辅助电源充电电源数倍，且高功率电源储能电容量大于辅助电源储能电容量十倍以上；当脉冲输出时，高功率电源储能电容与辅助电源储能电容容量叠加；当放电发生时处于高电位的辅助电源储能电容迅速释放能量，激发等离子体产生，而略高于放电负载电压的高功率脉电源蓄势释放能量，稳定维持高功率磁控溅射放电，直至脉冲截止；所述负载为磁控溅射阴极或真空等离子体。
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权利要求：
百度查询： 唐山标先电子有限公司 采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法
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