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申请/专利权人：彼博股份有限公司
摘要：半导体基材上含硅烷醇的有机‑无机杂化涂层，以在其上形成图案。本发明的涂层可通过用含金属和硅烷醇的聚氢基倍半硅氧烷树脂溶液涂覆半导体基材来产生。本文还提供了一种用特定波长的光辐射将经含金属和硅烷醇的聚氢基倍半硅氧烷涂覆基材图案化的方法，所述方法包括以下步骤：沿选定的图案辐照经涂覆基材以形成具有经辐照涂层的区域和有未经辐照涂层的区域的经辐照结构，和选择性地显影所述经辐照结构以去除实质部分的未经辐照涂层而形成经图案化基材。本发明允许获得预先选择的硅烷醇含量的聚氢基倍半硅氧烷树脂，并且硅烷醇含量的调节将使得可以获得对于在EUV中的应用高度敏感的涂层。
主权项：1.一种用作光刻胶的氢倍半硅氧烷树脂涂料组合物，所述组合物在液相中包含树脂，所述树脂在硅-氧网络中显示出硅烷醇Si-OH和硅-氢Si-H及任选地硅-碳键、或在硅-氧-金属网络中显示出硅烷醇Si-OH、硅-氢Si-H和任选地硅-碳键，Si-H与Si-OH在FTIR光谱中的峰高比在3:1至50:1之间，所述组合物具有35重量％至52.9重量％的硅含量，所述组合物包含具有通式I的聚氢基倍半硅氧烷树脂 其中A、B、C和D各自表示独立地选自1至1000的整数；Z代表官能团并且M代表金属原子；R1至R8代表烃基原子团；和a、b、m、o、y、z、p、q和x各自独立地代表0至3的整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 彼博股份有限公司 用于高分辨率图案化的含硅烷醇有机-无机杂化涂层
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