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备用电路修补位置确定方法及装置、集成电路修补方法 

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申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司

摘要:本公开是关于一种备用电路修补位置确定方法及装置、集成电路修补方法,通过确定待修补芯片的失效位置,并根据该失效位置可以初步分派备用电路的初始修补位置,而根据初始修补位置可以确定潜在失效线路,再根据潜在失效线路可以确定预测修补位置,其中该预测修补位置就是上述较多概率出现新的失效位置的位置,再根据失效位置失效位置和预测修补位置可以确定出备用电路的最终修补位置,从而可以将失效位置和可能出现新的失效位置的预测修补位置同时确定为需要修补的修补位置,以在新的失效位置出现之前即对其进行修补,从而可以减小新的失效位置出现的概率,提高芯片的制程良率。

主权项:1.一种备用电路修补位置确定方法,其特征在于,所述方法包括:确定待修补芯片的失效位置;根据所述失效位置分派备用电路的初始修补位置;根据所述初始修补位置确定潜在失效线路;根据所述潜在失效线路确定预测修补位置;根据所述失效位置和所述预测修补位置确定所述备用电路的最终修补位置;所述根据所述初始修补位置确定潜在失效线路的步骤,包括:根据所述初始修补位置的位置属性确定所述潜在失效线路;所述根据所述初始修补位置的位置属性确定所述潜在失效线路的步骤,包括:根据所述初始修补位置的数量与距离属性和或失效位置属性确定所述潜在失效线路;所述根据所述初始修补位置的失效位置属性确定所述潜在失效线路的步骤,包括:将所述初始修补位置中的失效位置及其邻近未分派备用电路的位置所在的线路确定为所述潜在失效线路;所述根据所述潜在失效线路确定预测修补位置的步骤,包括;根据所述潜在失效线路的累计失效概率确定所述预测修补位置。

全文数据:

权利要求:

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