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申请/专利权人：北京子牛亦东科技有限公司
摘要：本申请涉及刻蚀技术领域，尤其涉及电极固定装置、电极固定装置的维护方法及刻蚀设备。其中电极固定装置包括连接件和分体式固定杆，连接件的底部开设有凹槽，连接件的顶部开设有通孔；分体式固定杆包括杆头和杆体，杆头以可拆卸的方式固定于杆体穿过通孔的一端，杆头不穿过通孔。根据本发明的电极固定装置，当连接件的通孔因为气体的腐蚀而孔径变大后，可以拆卸杆头和杆体，单独更换更大一些的杆头，这样可以继续保证连接件和分体式固定杆的固定关系，防止电极固定装置失效，这样单独更换杆头，可以大幅降低维护所需的成本，电极固定装置的适用范围也变得更广泛。
主权项：1.一种电极固定装置，其特征在于，包括：连接件，所述连接件开设有通孔；分体式固定杆，所述分体式固定杆包括杆头和杆体，所述杆头以可拆卸的方式固定于所述杆体位于所述通孔的外侧的一端，所述杆头外围的最大直径大于所述通孔的直径，以使所述杆头不穿过所述通孔；其中，所述连接件的底部开设有凹槽，所述凹槽与所述通孔连通设置；所述杆体包括第一分段体、第二分段体、第三分段体和第四分段体，所述第一分段体、所述第二分段体、所述第三分段体和所述第四分段体沿着所述杆体从顶端到底端的方向依次设置，并且所述第一分段体、所述第二分段体、所述第三分段体和所述第四分段体的直径依次增大，所述第一分段体和所述第二分段体的直径小于所述通孔的直径，所述第三分段体的直径大于所述通孔的直径，所述第四分段体的直径大于所述通孔的直径且小于所述凹槽的直径，所述第三分段体在与所述第二分段体的连接处设置有倒角，所述第三分段体和所述第四分段体均收容于所述凹槽内，所述第三分段体和所述第四分段体用于防止所述分体式固定杆从所述通孔内穿过。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京子牛亦东科技有限公司 电极固定装置、电极固定装置的维护方法及刻蚀设备
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