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申请/专利权人:瑆科仪器(广州)有限公司
摘要:本申请涉及一种线扫描共聚焦光学成像系统,包括:光源组件,沿第一方向射出激光光源;第一镜组,设置于光源组件沿第一方向的出光侧,第一镜组包括二向色镜,二向色镜包括第一面和第二面,第一面朝向光源组件;高速扫描振镜,设置于二向色镜沿第二方向的一侧,高速扫描振镜包括反光面,反光面朝向二向色镜;高速扫描振镜沿第一方向可移动;第二镜组,设置于高速扫描振镜沿第一方向的一侧,第二镜组包括反射镜;物镜,设置于反射镜沿第二方向的一侧;承载组件,设置于物镜沿第二方向背离反射镜的一侧;成像组件,设置于二向色镜沿第二方向背离高速扫描振镜的一侧,第二面朝向成像组件。本申请公开的线扫描共聚焦光学成像系统可以提高成像效率。
主权项:1.一种线扫描共聚焦光学成像系统,其特征在于,包括:光源组件,沿第一方向射出激光光源,所述激光光源呈线光源,所述线光源照射在样本对象的某一行后反射,所述激光光源包括多个激光光线,多个所述激光光线的波长互不相等;第一镜组,设置于所述光源组件沿所述第一方向的出光侧,所述第一镜组包括二向色镜,所述二向色镜包括相对的第一面和第二面,所述第一面朝向光源组件;高速扫描振镜,设置于所述二向色镜沿第二方向的一侧,所述高速扫描振镜包括反光面,所述反光面朝向所述二向色镜;所述高速扫描振镜沿所述第一方向可移动设置,以使所述线光源逐行照射样本对象;所述第一方向和所述第二方向垂直;第二镜组,设置于所述高速扫描振镜沿第一方向的一侧,所述第二镜组包括反射镜;物镜,设置于所述反射镜沿所述第二方向的一侧;承载组件,设置于所述物镜沿所述第二方向背离所述反射镜的一侧;成像组件,设置于所述二向色镜沿所述第二方向背离所述高速扫描振镜的一侧,所述第二面朝向所述成像组件,所述成像组件包括光栅、第三透镜和相机,所述光栅设置于所述第三透镜沿所述第二方向背离所述相机的一侧,所述二向色镜的第二面朝向所述光栅;所述第一镜组还包括柱透镜,所述柱透镜设置于所述二向色镜沿所述第一方向靠近所述光源组件的一侧;所述第二镜组还包括第一透镜,所述第一透镜设置于所述高速扫描振镜和所述反射镜之间;所述第一透镜和所述柱透镜形成四焦距系统;所述第一透镜和所述第三透镜形成四焦距系统。
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