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一种便于调节夹具的切割机 

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申请/专利权人:铜陵中锐电子科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种便于调节夹具的切割机,涉及夹具调节领域,包括切割机机体、晶圆底座、控制面板,所述切割机机体上方设置有切割机构,所述晶圆底座内腔设置有滑动机构,所述滑动机构内设置有夹持机构,所述切割机机体和所述晶圆底座内部设置有一号传动机构、二号传动机构,所述切割机机体上方设置有驱动机构。本实用新型通过设置一号传动机构、二号传动机构、夹持机构、滑动机构、驱动机构,转动转动部,驱动机构带动一号传动机构中的一号齿轮转动,一号传动机构带动二号传动机构中的转动圆盘转动,二号传动机构带动滑动机构中的滑块滑动,将晶圆放入晶圆底座内腔,启动电机,实现夹持机构压住晶圆,启动激光切割器,对晶圆进行切割。

主权项:1.一种便于调节夹具的切割机,包括切割机机体(1),所述切割机机体(1)上方固定连接有晶圆底座(2),所述切割机机体(1)斜面上安装有控制面板(3),其特征在于,所述晶圆底座(2)内腔设置有滑动机构,所述滑动机构内设置有夹持机构,所述晶圆底座(2)内部设置有二号传动机构,所述切割机机体(1)和所述晶圆底座(2)内部设置有一号传动机构,所述切割机机体(1)上方设置有驱动机构;滑动状态的所述滑动机构用于调整所述夹持机构到晶圆边缘的距离,且所述滑动机构限制晶圆移动;夹持状态的所述夹持机构用于压住所述晶圆,在切割时起到固定晶圆的作用;转动状态的所述二号传动机构用于驱使所述滑动机构滑动;转动状态的所述一号传动机构用于将所述驱动机构的动力传给所述二号传动机构;所述滑动机构包括滑块(6)、弧形块(8)、一号滑槽(11);三个周向等距分布的所述一号滑槽(11)开设于所述晶圆底座(2)内腔,且所述一号滑槽(11)的一端贯穿至所述晶圆底座(2)外壁,所述滑块(6)滑动于所述一号滑槽(11)内壁,所述弧形块(8)固定连接于所述滑块(6)位于所述晶圆底座(2)内腔的一端,且所述弧形块(8)滑动于所述晶圆底座(2)的内腔;所述二号传动机构包括二号滑槽(12)、转动圆盘(13)、三号滑槽(14)、滑动柱(15);所述转动圆盘(13)转动连接于所述晶圆底座(2)的内部,三个周向等距分布的所述三号滑槽(14)开设于所述转动圆盘(13)内部,且所述三号滑槽(14)呈斜向状态设置,所述二号滑槽(12)开设于所述一号滑槽(11)的下方,且所述二号滑槽(12)下方与所述转动圆盘(13)上方接触,所述滑动柱(15)的下半段滑动于所述三号滑槽(14)内壁,且所述滑动柱(15)的上半段滑动于所述二号滑槽(12)的内壁,且所述滑动柱(15)的上端固定连接于所述滑块(6)的下端。

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