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申请/专利权人：成都理工大学
摘要：本实用新型公开了一种晶圆测试机的限位装置，包探针台、测试机及控制测试机启闭的开关，所述探针台和测试机之间形成有一个锁扣区域，该锁扣区域具有一个限位电磁阀和锁扣拉杆，限位电磁阀安装在探针台上，锁扣拉杆与测试机的轴盘连接，所述限位电磁阀通过导线与测试机的开关形成电路串联，锁扣拉杆利用轴盘顺时针转动后与限位电磁阀的限位开关挡片接触，促使限位电磁阀导通，测试机的开关开启测试机。本实用新型通过通过限位电磁阀的作用避免了因操作人员未严格按照操作流程将解锁拉杆移动至准确的“UnLock”位置，直接启动测试机头旋转开关，导致测试机头强行开启，造成测试机头损坏或报废的风险。
主权项：1.一种晶圆测试机的限位装置，包括探针台1、测试机2及控制测试机2启闭的开关6，其特征在于：所述探针台1和测试机2之间形成有一个锁扣区域，该锁扣区域具有一个限位电磁阀3和锁扣拉杆4，限位电磁阀3安装在探针台1上，锁扣拉杆4与测试机2的轴盘连接，所述限位电磁阀3通过导线5与测试机2的开关6形成电路串联，锁扣拉杆4利用轴盘顺时针转动后与限位电磁阀3的限位开关挡片接触，促使限位电磁阀3导通，测试机2的开关6开启测试机2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都理工大学 一种晶圆测试机的限位装置
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