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申请/专利权人：深圳市摆渡微电子有限公司
摘要：本实用新型公开了一种PCD刀轮，用于切割晶圆，包括本体，所述本体的中心贯穿有安装孔，所述本体的直径为2‑5mm；沿所述本体径向且从所述本体的中心至外周方向，所述本体的边缘厚度逐渐减小，以形成环形刀刃，所述环形刀刃的夹角为60‑90度；沿所述本体的圆周方向上，所述环形刀刃上等间距开设有若干断屑槽，以形成若干切割齿，所述切割齿的数量范围为300‑700个。本实用新型能够让切割后的晶圆边缘更加平滑，保证断面的平整，有效保证生产质量以及合格率。
主权项：1.一种PCD刀轮，用于切割晶圆，其特征在于：包括本体1，所述本体1的中心贯穿有安装孔11，所述本体1的直径为2-5mm；沿所述本体1径向且从所述本体1的中心至外周方向，所述本体1的边缘厚度逐渐减小，以形成环形刀刃12，所述环形刀刃12的夹角为60-90度；沿所述本体1的圆周方向上，所述环形刀刃12上等间距开设有若干断屑槽13，以形成若干切割齿14，所述切割齿14的数量范围为300-700个。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市摆渡微电子有限公司 一种PCD刀轮
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