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光干涉断层扫描仪 

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申请/专利权人:古河电气工业株式会社

摘要:光干涉断层扫描仪例如具备:光源部,输出光,能使所输出的光的波长变化;分支部,将来自光源部的光分波成照射光和参考光;参考光学系统,传输来自分支部的参考光;照射光学系统,传输来自分支部的照射光并将其照射到对象物,并且传输对象物中的对照射光的反射光;干涉部,产生来自照射光学系统的反射光和来自参考光学系统的参考光干涉的干涉光;干涉光输出部,输出干涉光;和耦合元件,作为分支部以及干涉部发挥功能,参考光学系统、耦合元件以及干涉光输出部由形成于基板上的波导路构成,在该基板上集成化。

主权项:1.一种光干涉断层扫描仪,具备:光源部,输出光,能使所输出的光的波长变化;分支部,将来自所述光源部的光分波成照射光和参考光;参考光学系统,传输来自所述分支部的所述参考光;照射光学系统,传输来自所述分支部的所述照射光并将其照射到对象物,并且传输所述对象物中的对所述照射光的反射光;干涉部,产生来自所述照射光学系统的所述反射光和来自所述参考光学系统的所述参考光干涉的干涉光;干涉光输出部,输出所述干涉光;和耦合元件,作为所述分支部以及所述干涉部发挥功能,所述参考光学系统、所述耦合元件以及所述干涉光输出部由形成于基板上的波导路构成,在该基板上集成化。

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权利要求:

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