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申请/专利权人：深圳大学
摘要：本发明公开一种针对P型单晶硅工件的电火花加工方法，涉及电火花加工技术领域，包括以下步骤：S1、将脉冲电源的正极连接至P型单晶硅工件、负极连接至工具电极；S2、使用含N型单晶硅粉末的电火花加工液将P型单晶硅工件完全浸没；S3、打开脉冲电源，进行正极性加工；S4、待正极性加工完成后，关闭脉冲电源，将含N型单晶硅粉末的电火花加工液全部排出，然后采用不含N型单晶硅粉末的电火花加工液将P型单晶硅工件完全浸没；S5、将脉冲电源的负极与P型单晶硅工件表面形成的重铸层连接、正极与工具电极连接；S6、打开脉冲电源，进行负极性加工；S7、待重铸层全部去除，然后关闭脉冲电源。能够有效去除工件表面的重铸层。
主权项：1.一种针对P型单晶硅工件的电火花加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将P型单晶硅工件固定于电火花加工机床上，同时将工具电极通过夹具安装于机床主轴上；将脉冲电源的正极连接至所述P型单晶硅工件，将所述脉冲电源的负极连接至所述工具电极；S2、在电火花加工液中添加N型单晶硅粉末，并搅拌均匀，得到含N型单晶硅粉末的电火花加工液；使用含N型单晶硅粉末的电火花加工液将所述P型单晶硅工件完全浸没；S3、打开所述脉冲电源，进行正极性加工；S4、待所述正极性加工完成后，关闭所述脉冲电源，将所述含N型单晶硅粉末的电火花加工液全部排出，然后采用不含N型单晶硅粉末的电火花加工液将所述P型单晶硅工件完全浸没；S5、将所述脉冲电源的负极与所述工具电极的连接断开，将所述脉冲电源的正极与所述P型单晶硅工件的连接断开；将所述脉冲电源的负极与所述P型单晶硅工件表面形成的重铸层连接，将所述脉冲电源的正极与所述工具电极连接；S6、打开所述脉冲电源，进行负极性加工；S7、待所述重铸层全部去除，然后关闭所述脉冲电源。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳大学 一种针对P型单晶硅工件的电火花加工方法
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