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申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：本发明涉及一种用于在加工过程中，优选在光刻结构化过程中加工工件17的方法，其中工件17的加工包括控制工件17的温度。在该方法中，工件17是温度控制的，因为流体27流过形成在工件17内的至少一个通道26。
主权项：1.一种用于在处理过程中、优选地在光刻结构化过程中处理工件17的方法，所述工件17的处理包括控制所述工件17的温度,其特征在于通过使流体27流过形成在所述工件17内部的至少一个通道26来控制所述工件17的温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 用于加工工件的方法
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