龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：广东汇成真空科技股份有限公司
摘要：本发明涉及磁控溅射镀铜技术领域，本发明公开了一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备，包括支架、镀膜辊机构和第二轴承，所述支架的内顶部固定有第一固定架和第二固定架，所述第一连接轴贯穿第一固定架和第二固定架，所述第二圆齿轮啮合连接在第一圆齿轮的顶部。该复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备，向环形进液通道通入冷却液后，冷却液顺着方形输液管道流到冷却管道内，冷却液在冷却管道与镀膜辊筒的内壁之间流动，镀膜辊筒的散热效果好，且冷却管道呈螺旋状等间距分布在冷却筒上，每个冷却管道内的冷却液温度相差不大，保证冷却效果均匀，避免出现越流到后面的冷却液温度越高而导致散热不均的问题。
主权项：1.一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备，包括支架（1）、镀膜辊机构（4）和第二轴承（5），其特征在于：所述支架（1）上开设有通孔（2），所述镀膜辊机构（4）通过第一轴承（3）转动连接在通孔（2）内，所述镀膜辊机构（4）包括镀膜辊筒（401），所述镀膜辊筒（401）的一侧固定有转筒（402），所述转筒（402）通过第一轴承（3）转动连接在通孔（2）内，所述转筒（402）的外侧固定有第一圆齿轮（403）；所述支架（1）的内顶部固定有均匀冷却机构（6），所述均匀冷却机构（6）包括马达（601），所述马达（601）的输出端通过转轴（602）与第一锥齿轮（604）相连接，所述第一锥齿轮（604）的一侧通过第一连接轴（605）与第二圆齿轮（608）相连接，所述支架（1）的内顶部固定有第一固定架（606）和第二固定架（607），所述第一连接轴（605）贯穿第一固定架（606）和第二固定架（607），所述第二圆齿轮（608）啮合连接在第一圆齿轮（403）的顶部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东汇成真空科技股份有限公司 一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号