龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本发明公开了一种基于脉冲离子束的原子深度图像转移装置及其应用方法，本发明装置包括脉冲离子源、掩膜板和被加工工件，脉冲离子源发射的脉冲离子束流经过掩膜板上的图案赋予形状后轰击到被加工工件的表面溅射形成特定深度的图形以实现对掩膜板上的图案的转移加工；本发明应用方法包括分别将掩膜板和被加工工件安装到机床上；控制脉冲离子源发射脉冲离子束流，使得发射的脉冲离子束流经过掩膜板上的图案赋予形状后轰击到被加工工件的表面溅射形成特定深度的图形以实现对掩膜板上的图案的转移加工。本发明旨在实现基于脉冲离子束的原子深度图像转移，解决离子束技术加工效率不足，反应离子刻蚀（RIE）技术加工分辨率不足的问题。
主权项：1.一种基于脉冲离子束的原子深度图像转移装置，其特征在于，包括脉冲离子源（1）、掩膜板（2）和被加工工件（3），所述脉冲离子源（1）发射的脉冲离子束流经过掩膜板（2）上的图案赋予形状后轰击到被加工工件（3）的表面溅射形成特定深度的图形以实现对掩膜板（2）上的图案的转移加工。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 基于脉冲离子束的原子深度图像转移装置及其应用方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号