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申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
摘要：本申请公开了一种移动在线监测机构，涉及薄膜测厚的技术领域，包括两条导轨、两组平行设置的丝杆和第一驱动组件，两条导轨相互平行且间隔放置，两根导轨之间的空间用于供薄膜通过；两组丝杆上均设置有滑块，每组丝杆各自与一条导轨一一对应，且均与导轨平行，滑块相对设置且相对的侧壁上均设置有测厚传感器，两个测厚传感器相对应且相互朝向彼此，两个测厚传感器之间留有间隙以供薄膜通过；第一驱动组件设置于导轨一端，用于驱使两组丝杆同步转动，丝杆用于驱动测厚传感器沿导轨长度方向往复移动。本申请具有能够对镀膜厚度进行连续性和实时性监测的效果。
主权项：1.一种移动在线监测机构，其特征在于：包括两条导轨（1），两条所述导轨（1）相互平行且间隔放置，两根所述导轨（1）之间的空间用于供薄膜通过；两组平行设置的丝杆（2），两组所述丝杆（2）上均设置有滑块（21），每组所述丝杆（2）各自与一条导轨（1）一一对应，且均与导轨（1）平行，所述滑块（21）相对设置且相对的侧壁上均设置有测厚传感器（22），两个所述测厚传感器（22）相对应且相互朝向彼此，两个所述测厚传感器（22）之间留有间隙以供薄膜通过；第一驱动组件（4），所述第一驱动组件（4）设置于导轨（1）一端，用于驱使两组丝杆（2）同步转动，所述丝杆（2）用于驱动测厚传感器（22）沿导轨（1）长度方向往复移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种移动在线监测机构
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