龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京晶飞半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及晶圆制造技术领域，具体涉及一种应力增效的激光改质剥离方法和装置，该方法包括步基材准备、施加应力、激光改质、机械剥离。主要是在晶锭的表面施加应力，应力的垂直于晶锭的轴线方向。本发明应用应力调控热的传播方向，由于热在应力方向传递的效果比在垂直于应力方向传递的效果好，从而使得激光与晶锭的作用产生的热主要沿法线方向传播，增加了切割的横向尺寸，减少了激光照射位置的个数，提高了效率，在晶圆制造技术领域具有良好的应用前景。
主权项：1.一种应力增效的激光改质剥离方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、基材准备；步骤2、施加应力；步骤3、激光改质；步骤4、机械剥离；所述步骤2包括在晶锭的表面施加应力，所述应力的方向垂直于晶锭的轴线方向；所述应力来源于应力施加装置，所述应力施加装置为卡箍或喉箍；在所述应力方向上，晶体中的原子或分子更紧密地排列在一起，导致更有效的热传导。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶飞半导体科技有限公司 一种应力增效的激光改质剥离方法和装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号