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申请/专利权人：上海中航光电子有限公司
摘要：本申请提供了一种膜层粘附力强度测试结构和方法，该结构包括：设置在基板上测试区的待测膜层，设置在待测膜层远离基板一侧的胶连层，压片弹簧，压片弹簧包括弧形区和卡扣区，弧形区的压片弹簧设置在胶连层远离待测膜层的一侧，且与待测膜层表面平行，卡扣区的压片弹簧与弧形区的压片弹簧连接，并延伸反扣在待测膜层远离胶连层的一侧。即利用本申请的结构可以对膜层粘附力强度进行测试，可以根据待测膜层的尺寸和形状调整压片弹簧的尺寸和形状，即使待测膜层的尺寸较小时，也可以有效的进行膜层粘附力强度的测试，提高了半导体膜层粘附力强度测试的普适性，且同时本申请的结构中弧形区和卡扣区一体化设置，简单易行，节约了成本。
主权项：1.一种膜层粘附力强度测试结构，其特征在于，包括：设置在基板上测试区的待测膜层；设置在所述待测膜层远离所述基板一侧的胶连层；压片弹簧，所述压片弹簧包括弧形区和卡扣区；所述弧形区的压片弹簧设置在所述胶连层远离所述待测膜层的一侧，且与所述待测膜层表面平行；所述卡扣区的压片弹簧与所述弧形区的压片弹簧连接，并延伸反扣在所述待测膜层远离所述胶连层的一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海中航光电子有限公司 一种膜层粘附力强度测试结构和方法
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