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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

摘要：本申请提供一种翘曲晶圆的承载机构及探针台。承载机构包括：卡盘，卡盘具有通孔及多个收容槽；第一吸盘组件，第一吸盘组件包括多个第一吸盘，第一吸盘至少部分收容于收容槽内；及第二吸盘组件，第二吸盘组件包括顶杆及第二吸盘，顶杆穿设于通孔，顶杆沿预设方向延伸，顶杆具有连接端，连接端用于连接第二吸盘，顶杆能够带动第二吸盘沿预设方向移动，且第二吸盘组件具有连接端凸出于承载面的第一状态及连接端收容于通孔的第二状态；当第二吸盘组件处于第一状态时，第二吸盘组件可吸附晶圆；当第二吸盘组件处于第二状态时，第一吸盘组件和第二吸盘组件共同吸附晶圆，使得承载机构能够有效地吸附翘曲的晶圆。

主权项：1.一种翘曲晶圆的承载机构，其特征在于，所述承载机构包括：卡盘，所述卡盘具有承载面及与所述承载面相背设置的背面，所述承载面用于承载晶圆，所述卡盘还具有通孔及多个收容槽，所述通孔贯穿于所述承载面及所述背面，所述收容槽设置于所述承载面；第一吸盘组件，所述第一吸盘组件包括多个第一吸盘，所述第一吸盘部分收容于所述收容槽内，所述第一吸盘另外部分显露并凸出于所述卡盘的承载面，且所述第一吸盘能够在吸附晶圆后沿预设方向收缩；及第二吸盘组件，所述第二吸盘组件包括顶杆及第二吸盘，所述顶杆穿设于所述通孔，所述顶杆沿预设方向延伸，所述顶杆具有连接端，所述连接端用于连接所述第二吸盘，所述顶杆能够带动所述第二吸盘沿预设方向往复移动，且所述第二吸盘组件具有所述连接端凸出于所述承载面的第一状态及所述连接端收容于所述通孔的第二状态；当所述承载机构用于承载待检测的晶圆时，所述顶杆的连接端及所述第二吸盘显露于所述承载面，所述第二吸盘用于吸附晶圆，所述顶杆能够带动所述第二吸盘及晶圆沿着所述预设方向移动，并使得所述第二吸盘及晶圆移动至邻近所述承载面的位置，所述第一吸盘及所述第二吸盘再共同吸附晶圆，并能够将晶圆吸附至贴合所述承载面；其中，所述承载机构还包括移动组件，所述移动组件包括传动件、气缸及顶升件，所述传动件能够带动所述气缸沿预设方向往复移动，所述气缸能够沿垂直于所述预设方向的方向伸缩，当所述气缸处于收缩状态时，所述气缸未抵接所述顶升件，当所述气缸处于伸出状态时，所述气缸能够抵接于所述顶升件背离所述卡盘的一侧，并能够带动所述顶升件沿预设方向往复移动，且所述顶升件固定于所述顶杆，并能够带动所述顶杆沿预设方向往复移动。

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