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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：提供了可以更高效地将活性氧供给到被处理物的表面的活性氧供给装置、可以更高效地使用活性氧处理被处理物的表面的利用活性氧的处理装置、以及可以更高效地使用活性氧处理被处理物的表面的利用活性氧的处理方法。活性氧供给装置是在具有至少一个开口的壳体中配备有等离子体发生器和紫外光源的等离子体激励器，等离子体发生器设置有夹持有电介质的第一电极和第二电极并通过在这两个电极之间施加电压来产生包含臭氧的诱导流，其中等离子体激励器被定位成使得诱导流从开口流到壳体外，并且紫外光源用紫外线照射诱导流并在诱导流中生成活性氧。另外，提供了利用活性氧的处理装置和利用活性氧的处理方法。
主权项：1.一种活性氧供给装置，其包括具有至少一个开口的壳体、布置在所述壳体中的等离子体发生器、和布置在所述壳体中的紫外光源，其中，所述等离子体发生器是等离子体激励器，所述等离子体激励器包括：电介质；设置于所述电介质的第一表面的第一电极；和第二电极，其设置于所述电介质的与所述第一表面相对的第二表面，并且以在所述电介质上存在偏移的状态相对于所述第一电极倾斜地布置，在所述第一电极和所述第二电极之间施加电压的情况下，所述等离子体激励器从所述第一电极的边缘沿着所述电介质的所述第一表面的暴露部生成包含臭氧的诱导流，所述暴露部未被所述第一电极覆盖，所述等离子体激励器被布置成使得所述诱导流从所述开口流到所述壳体外，以及所述紫外光源用紫外光照射所述诱导流并且在所述诱导流中生成活性氧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 活性氧供给装置、利用活性氧的处理装置和利用活性氧的处理方法
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