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固态图像传感器 

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申请/专利权人:索尼半导体解决方案公司

摘要:本技术的目的是提供一种能够降低拍摄图像的显示不均匀性的固态图像传感器。根据本技术的固态图像传感器包括:第一基板,其包括光电转换单元、连接到所述光电转换单元的传输栅单元、连接到所述传输栅单元的FD单元以及覆盖所述光电转换单元、所述传输栅单元和所述FD单元的层间绝缘膜;和第二基板,其包括放大晶体管并且配置为与所述层间绝缘膜相邻,所述放大晶体管构成经由所述层间绝缘膜连接到所述FD单元的像素晶体管的一部分并且包括背栅单元。

主权项:1.一种固态图像传感器,包括:第一基板,其包括光电转换单元、连接到所述光电转换单元的传输栅单元、连接到所述传输栅单元的浮动扩散单元以及覆盖所述光电转换单元、所述传输栅单元和所述浮动扩散单元的绝缘膜;和第二基板,其包括第一晶体管并且配置为与所述绝缘膜相邻,所述第一晶体管构成经由所述绝缘膜连接到所述浮动扩散单元的电路的一部分并且包括背栅,其中,所述第一晶体管包括连接到所述背栅的前栅,所述背栅包括背栅电极和背栅绝缘膜,所述前栅包括前栅电极和前栅绝缘膜,以及所述前栅绝缘膜具有缺陷水平低于所述背栅绝缘膜的缺陷水平的膜质量。

全文数据:

权利要求:

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