龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中节能万润股份有限公司
摘要：本发明涉及一种用于光刻胶顶层涂层的组合物及其聚合物制备方法，所述的组合物中至少包含如下两种聚合物：a、b、c、x、y、z分别为聚合物重复单元的质量分数，a选自30‑60％，b选自5‑20％，c选自20‑50％；x选自5‑20％，y选自1‑10％，z选自70～90％；聚合物I和聚合物II的分子量分别选自1000‑30000Da，分子量分散系数分别选自1.0‑4.0。所述的组合物用于光刻胶顶层涂层具有较高的后退角，可减少光致产酸剂在水中的沥出。
主权项：1.一种用于光刻胶顶层涂层的组合物，其特征在于，所述的组合物中至少包含如下两种聚合物： ；a、b、c、x、y、z分别为聚合物重复单元的质量分数，a选自30-60%，b选自5-20%，c选自20-50%；x选自5-20%，y选自1-10%，z选自70~90%；聚合物I和聚合物II的分子量分别选自1000-30000Da，聚合物I和聚合物II的分子量分散系数分别选自1.0-4.0；所述的组合物包括聚合物I、聚合物II、光致产酸剂和电子级溶剂；所述组合物中，聚合物I所占组合物的质量分数为1-10%，聚合物II所占组合物的质量分数为1-10%，光致产酸剂所占组合物的质量分数为0.01-0.2%，余量为电子级溶剂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中节能万润股份有限公司 一种用于光刻胶顶层涂层的组合物及其聚合物制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号