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申请/专利权人：广州铌奥光电子有限公司
摘要：本发明公开了一种薄膜铌酸锂光栅耦合器及其制备方法和装置，包括衬底、埋氧层、条形波导、周期性光栅结构、包层和遮光结构；埋氧层设置于衬底上，条形波导和周期性光栅结构设置于埋氧层上，周期性光栅结构设置于沿光路方向的条形波导的前方且与条形波导对齐，包层设置于条形波导和周期性光栅结构上，遮光结构设置于包层上，遮光结构包括透光孔，透光孔设置于周期性光栅结构的传播方向上，透光孔的尺寸大于周期性光栅结构的尺寸。本发明实施例有效减少了杂散光对光探测器的信噪比的不良影响，提高了光探测器的信噪比，可广泛应用于集成光学领域。
主权项：1.一种薄膜铌酸锂光栅耦合装置，其特征在于，包括激光器、光探测器和薄膜铌酸锂光栅耦合器，所述激光器的激光出射方向朝向所述薄膜铌酸锂光栅耦合器的条形波导的光路方向，所述光探测器的收光面相对于所述薄膜铌酸锂光栅耦合器的透光孔设置；其中，所述薄膜铌酸锂光栅耦合器包括衬底、埋氧层、条形波导、周期性光栅结构、包层和遮光结构；所述埋氧层设置于所述衬底上，所述条形波导和所述周期性光栅结构设置于所述埋氧层上，所述周期性光栅结构设置于沿光路方向的所述条形波导的前方且与所述条形波导对齐，所述包层设置于所述条形波导和所述周期性光栅结构上，所述遮光结构设置于所述包层上，所述遮光结构包括透光孔，所述透光孔设置于所述周期性光栅结构的传播方向上，所述透光孔的尺寸大于所述周期性光栅结构的尺寸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州铌奥光电子有限公司 一种薄膜铌酸锂光栅耦合器及其制备方法和装置
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