龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东南大学
摘要：本发明涉及一种扭转‑弯曲耦合共振的扭转式微机械谐振器，包括衬底、设置在衬底上的驱动电极和感应电极、设置在驱动电极和感应电极上方的活动极板，所述活动极板的两端分别与一个扭转支撑梁的一端连接，两个所述扭转支撑梁的另一端分别与一个固定支撑连接，两个固定支撑间隔设在衬底上，两个所述扭转支撑梁结构尺寸相同且沿长度方向的轴线重合，活动极板为矩形或圆形，扭转支撑梁的横截面为正方形，扭转支撑梁和活动极板的材料相同，活动极板的扭转振动固有频率与扭转支撑梁的弯曲振动固有频率相等。本发明所需的驱动力小，因此能用更小的驱动力获得相当大的振幅，节省了驱动能量，显著降低了驱动要求、提高了谐振器性能。
主权项：1.一种扭转-弯曲耦合共振的扭转式微机械谐振器，包括衬底1、设置在衬底1上的驱动电极2和感应电极3、设置在驱动电极2和感应电极3上方的活动极板4，所述活动极板4的两端分别与一个扭转支撑梁5的一端连接，两个所述扭转支撑梁5的另一端分别与一个固定支撑6连接，两个固定支撑6间隔设在衬底上，两个所述扭转支撑梁5结构尺寸相同且沿长度方向的轴线重合，其特征在于，活动极板4为矩形或圆形，扭转支撑梁5的横截面为正方形，扭转支撑梁5和活动极板4的材料相同，活动极板4的扭转振动固有频率与扭转支撑梁5的弯曲振动固有频率相等。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东南大学 扭转-弯曲耦合共振的扭转式微机械谐振器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号