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申请/专利权人：常州光芯集成光学有限公司
摘要：本实用新型涉及一种传感用复合光波导芯片，属于集成光学技术领域。包括玻璃衬底；离子交换光波导，所述离子交换光波导掩设于所述玻璃衬底内部且靠近所述玻璃衬底的一侧；介质层，所述介质层设于靠近玻璃衬底设有离子交换光波导的一侧，并位于测试臂光波导正上方；所述离子交换光波导按前后级联顺序包括：前级为输入光波导，随后级联分支结构光波导，分支结构光波导后端分别级联测试臂光波导和参考臂光波导，测试臂光波导和参考臂光波导后端级联合波干涉光波导，最后级联输出光波导。
主权项：1.一种传感用复合光波导芯片，其特征在于，包括：玻璃衬底；离子交换光波导，所述离子交换光波导掩设于所述玻璃衬底内部且靠近所述玻璃衬底的一侧；介质层，所述介质层设于靠近玻璃衬底设有离子交换光波导的一侧，并位于测试臂光波导正上方；所述离子交换光波导按前后级联顺序包括：前级为输入光波导，随后级联分支结构光波导，分支结构光波导后端分别级联测试臂光波导和参考臂光波导，测试臂光波导和参考臂光波导后端级联合波干涉光波导，最后级联输出光波导。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州光芯集成光学有限公司 一种传感用复合光波导芯片
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