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申请/专利权人：盛青永致半导体设备(苏州)有限公司
摘要：本实用新型涉及清洁装置技术领域，公开了一种半导体设备零部件的清洁装置，包括清洁箱，清洁箱的一侧下端设置有超声波清洗机，清洁箱的内腔活动安装有容纳网框，清洁箱的内腔下端焊接有支撑架，容纳网框放置在支撑架上。本实用新型技术方案通过设置的清洁箱、收集箱和防护壳，清洁完成后，既可以使传动杆上的齿轮配合齿条带动刮动板向左移动，使漂浮的污染物通过溢流口排入收集箱内，进一步方便对容纳网框内的半导体设备零部件进行取出，省去了二次清理的麻烦，还可以通过刮动板前后的刮片可以对清洁箱的内壁进行刮动，从而降低漂浮污染物附着在清洁箱内壁的清理，进一步保证对漂浮污染物的处理，而且省去了人工清理的麻烦。
主权项：1.一种半导体设备零部件的清洁装置，包括清洁箱1，其特征在于：所述清洁箱1的一侧下端设置有超声波清洗机11，所述清洁箱1的内腔活动安装有容纳网框13，所述清洁箱1的内腔下端焊接有支撑架12，所述容纳网框13放置在支撑架12上，所述清洁箱1的另一侧上端固定安装有伺服电机2，所述伺服电机2的输出端安装有传动杆21；所述传动杆21的下端固定安装有齿轮23，所述清洁箱1的另一侧上端活动贯穿有齿条24，所述齿条24的一端固定安装有刮动板25，所述刮动板25的一侧下端开设有容纳槽27，所述清洁箱1的一侧上端可拆卸安装有收集箱3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盛青永致半导体设备(苏州)有限公司 一种半导体设备零部件的清洁装置
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