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微镜设备 

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申请/专利权人:罗伯特·博世有限公司

摘要:提出一种微镜设备100,该微镜设备包括:罩105和功能层110,所述功能层在所述罩105的上方布置在主延伸平面5中,微镜115和框架结构120从所述功能层中结构化出来,所述框架结构包围所述微镜115,布置在所述功能层110的上方的窗口层125,其中,在包围微镜115的框架结构120上布置有至少一个第一止挡结构130,所述第一止挡结构构造为用于在垂直于所述主延伸平面15的方向上限制微镜115的偏移,并且其中,所述第一止挡结构139包括止挡元件135和在两侧与所述止挡元件135邻接的至少部分弧形的几何结构140,以便在所述微镜115撞击到所述第一止挡结构130上时限制机械应力峰值。

主权项:1.微镜设备100,所述微镜设备包括:罩105和功能层110,所述功能层在所述罩105的上方布置在主延伸平面5中,微镜115和框架结构120从所述功能层中结构化出来,所述框架结构包围所述微镜115,布置在所述功能层110的上方的窗口层125,其中,在包围所述微镜115的框架结构120上布置有至少一个第一止挡结构130、131、132、133、134、136、137、138、139,所述第一止挡结构构造为用于在垂直于所述主延伸平面15的方向上限制所述微镜115的偏移,并且其中,所述第一止挡结构130、131、132、133、134、136、137、138、139包括止挡元件135和在两侧与所述止挡元件135邻接的至少部分弧形的几何结构140,以便在所述微镜115撞击到所述第一止挡结构130上时限制机械应力峰值。

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权利要求:

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