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申请/专利权人：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种大尺寸硅晶片单片清洗机，具体涉及硅晶片加工技术领域，包括固定板一、固定板二和用于向硅晶片上喷淋清洗液的一对喷淋系统，固定板二固定连接在固定板一上，固定板一的侧面滑动连接有三个滑座一，且每个滑座一上均转动连接有用于硅晶片滚动支撑的支撑辊轮，三个支撑辊轮构成三角形结构，其中一个滑座一的底部设置有弹簧一，且弹簧一设置在固定板一上。本发明解决了硅晶片在清洗时上料的放入速度过快或上料对位的不足极易造成晶圆边缘的碰撞，以及硅晶片在转动清洗的过程中，其传动限位性存在不足，导致在转动清洗时存在清洗周期的不彻底，同时还影响的转动清洗的稳定性的技术问题。
主权项：1.一种大尺寸硅晶片单片清洗机，包括固定板一（1）、固定板二（2）和用于向硅晶片上喷淋清洗液的一对喷淋系统（3），所述固定板二（2）固定连接在所述固定板一（1）上，其特征在于：所述固定板一（1）的侧面滑动连接有三个滑座一（4），且每个滑座一（4）上均转动连接有用于硅晶片滚动支撑的支撑辊轮（5），三个支撑辊轮（5）构成三角形结构，其中一个滑座一（4）的底部设置有弹簧一（6），且弹簧一（6）设置在所述固定板一（1）上；其中一个支撑辊轮（5）上固定连接有轴杆（7），另外两个支撑辊轮（5）上均转动连接有连杆（71），一对连杆（71）均转动连接在所述轴杆（7）上；皮带传动结构，所述皮带传动结构设置在所述固定板二（2）上，所述皮带传动结构用于驱动所述轴杆（7）进行转动；传动张紧组件，所述传动张紧组件设置在所述固定板二（2）和所述皮带传动结构上；洗刷组件，所述洗刷组件包括一对清洗辊（10），一对清洗辊（10）之间设置有用于硅晶片插放的间隙，一对清洗辊（10）的两端均设置有滑动张紧组件；清洁驱动结构，所述清洁驱动结构设置在所述滑动张紧组件上，所述清洁驱动结构用于驱动一对清洗辊（10）相对转动。
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权利要求：
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