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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种气箱风量补偿装置和半导体设备。气箱风量补偿装置包括排风组件以及导风组件；排风组件包括位于气箱内的排风管，排风管的一端连接于气箱的一侧面，排风管开设有多个排气口，多个排气口沿排风管的轴线方向间隔设置，且多个排气口均用于朝向气箱的出气口方向导风；导风组件与排风管连通，且用于与外部气源连通，以将外部气源输送的气流传送至排风管。气箱风量补偿装置结构简单，安装方便，能够基于现有的气箱结构进行升级改造，从而能够在不改变现有气箱的结构设计的基础上进行补风，由此能够在降低结构成本的同时，增加气箱内的进风量。
主权项：1.一种气箱风量补偿装置，其特征在于：所述气箱风量补偿装置包括排风组件以及导风组件；所述排风组件包括位于气箱内的排风管，所述排风管的一端连接于所述气箱的一侧面，所述排风管开设有多个排气口，多个所述排气口沿所述排风管的轴线方向间隔设置，且多个所述排气口均用于朝向所述气箱的出气口方向导风；所述导风组件与所述排风管连通，且用于与外部气源连通，以将所述外部气源输送的气流传送至所述排风管。
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权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 气箱风量补偿装置和半导体设备
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