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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种可抑制搬运效率下降的基板处理装置及基板处理方法。在将对基板进行曝光处理的前工序的处理的前处理部及进行后工序的处理的后处理部与曝光装置加以连接的接口部，配置有多个搬运机器人及多个模块。在接口部中，执行将基板从前处理部向曝光装置搬运的去往路径搬运与从曝光装置向后处理部搬运的返回路径搬运。在发生去往路径搬运与返回路径搬运的搬运冲突时，与返回路径搬运相比，优先执行去往路径搬运。具体而言，即使在去往路径搬运侧的交付预告信号比返回路径搬运侧的交付预告信号滞后发送的情况下，也先执行去往路径搬运侧的基板搬运。可防止曝光装置成为待机状态，而抑制基板的搬运效率的下降。
主权项：1.一种基板处理装置，对基板进行曝光处理的前工序的处理并且进行曝光处理的后工序的处理，所述基板处理装置的特征在于，包括：前处理部，执行所述前工序的处理；后处理部，执行所述后工序的处理；接口部，将所述前处理部及所述后处理部与第一曝光装置及第二曝光装置加以连接，且包括对基板进行搬运的多个搬运机器人及多个模块；以及控制部，对所述多个搬运机器人进行控制，所述控制部以与从所述第一曝光装置或所述第二曝光装置向所述后处理部搬运基板的返回路径搬运相比，优先执行从所述前处理部向所述第一曝光装置或所述第二曝光装置搬运基板的去往路径搬运的方式，对所述多个搬运机器人及所述多个模块进行控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置及基板处理方法
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