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申请/专利权人：鸿海精密工业股份有限公司
摘要：一种光刻量测机的操作方法包括：在旋转基座上放置第一、第二、第三以及第四光罩，其中第一、第二、第三以及第四光罩的每一者具有第一、第二、第三以及第四曝光单元；重叠第一、第二、第三以及第四光罩，使第一光罩的第一曝光单元、第二光罩的第二曝光单元、第三光罩的第三曝光单元以及第四光罩的第四曝光单元相邻排列以形成曝光区；利用图像模拟单元根据曝光区模拟第一坐标信息；利用扫描电子显微镜扫描曝光区，以获得第二坐标信息；以及使用处理器比对第一坐标信息与第二坐标信息。光刻量测机可借由比对第一坐标信息与第二坐标信息以确认第一、第二、第三以及第四光罩是否位于要求位置。
主权项：1.一种光刻量测机，其特征在于，包含：旋转基座，配置以放置第一光罩、第二光罩、第三光罩以及第四光罩，其中该第一光罩、该第二光罩、该第三光罩以及该第四光罩的每一者具有第一曝光单元、第二曝光单元、第三曝光单元以及第四曝光单元，且该第一光罩、该第二光罩、该第三光罩以及该第四光罩交错排列使该第一光罩的该第一曝光单元、该第二光罩的该第二曝光单元、该第三光罩的该第三曝光单元以及该第四光罩的该第四曝光单元相邻排列以形成曝光区；图像模拟单元，配置以根据该曝光区模拟第一坐标信息，且该第一坐标信息具有第一圆心；扫描电子显微镜，配置以扫描该曝光区，以获得第二坐标信息，且该第二坐标信息具有第二圆心；以及处理器，电性连接该图像模拟单元与该扫描电子显微镜，且该处理器配置以比对该第一坐标信息以及该第二坐标信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鸿海精密工业股份有限公司 光刻量测机及其操作方法
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