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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：实现能够进行不同的前处理的小型的预湿模块。预湿模块200包括：工作台220，其构成为对使被处理面WF‑a向上的基板WF的背面进行保持；旋转机构224，其构成为使工作台220旋转；清洗液供给部件260，其构成为具有配置于工作台220的上方的喷嘴262，经由喷嘴262向工作台220的方向供给清洗液；以及脱气液供给部件250，其构成为对被工作台220保持的基板WF的被处理面WF‑a供给脱气液，该脱气液供给部件250构成为能够在喷嘴262与基板WF的被处理面WF‑a之间的供给位置以及从喷嘴262与基板WF的被处理面WF‑a之间退避的退避位置之间移动。
主权项：1.一种预湿模块，其特征在于，包括：工作台，所述工作台构成为对使被处理面向上的基板的背面进行保持；旋转机构，所述旋转机构构成为使所述工作台旋转；清洗液供给部件，所述清洗液供给部件构成为具有配置于所述工作台的上方的喷嘴，经由所述喷嘴向所述工作台的方向供给清洗液；脱气液供给部件，所述脱气液供给部件构成为向被所述工作台保持的基板的被处理面供给脱气液，所述脱气液供给部件构成为能够在所述喷嘴与所述基板的被处理面之间的供给位置、及从所述喷嘴与所述基板的被处理面之间退避的退避位置之间移动；基板站，所述基板站构成为在配置于所述供给位置的所述脱气液供给部件与所述喷嘴之间的清洗位置保持使被处理面向上的基板，并且为了在与所述工作台之间交接基板而升降；以及开闭器部件，所述开闭器部件构成为遮蔽以及敞开所述基板站的升降路径。
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