龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆搬运装置及晶圆上下料设备，涉及晶圆测试技术领域。晶圆搬运装置包括吸附机构和能够带动吸附机构沿竖向移动的升降机构，吸附机构包括第一支架、多个吸附件和多个卡接件，第一支架呈环状，且与升降机构连接；多个吸附件沿第一支架的周向间隔开布置，且与第一支架连接，多个吸附件设置成同时为晶圆底部提供吸附力，以使晶圆贴附在热沉上；多个卡接件沿第一支架的周向间隔开布置，且与第一支架连接，多个卡接件设置成受控地同时对承载有晶圆的热沉进行卡接，并为热沉提供吸附力，以避免承载有晶圆的热沉在跟随吸附机构移动的过程中脱落。本实用新型对晶圆和热沉进行双重吸附，可以确保晶圆和热沉在搬运过程中的稳定性。
主权项：1.一种晶圆搬运装置，其特征在于，用于对承载有晶圆的热沉进行搬运，所述晶圆搬运装置包括吸附机构和能够带动所述吸附机构沿竖向移动的升降机构，所述吸附机构包括：第一支架，呈环状，且与所述升降机构连接；多个吸附件，沿所述第一支架的周向间隔开布置，且与所述第一支架连接，多个所述吸附件设置成同时为所述晶圆的底部提供吸附力，以使得所述晶圆贴附在所述热沉上；多个卡接件，沿所述第一支架的周向间隔开布置，且与所述第一支架连接，多个所述卡接件设置成受控地同时对所述承载有晶圆的热沉进行卡接，并为所述热沉提供吸附力，以避免所述承载有晶圆的热沉在跟随所述吸附机构移动的过程中脱落。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 一种晶圆搬运装置及晶圆上下料设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号