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申请/专利权人:卓尔半导体设备(苏州)有限公司
摘要:本实用新型公开了一种切筋机,其涉及半导体加工设备领域。其技术方案要点包括切筋机构;穿过切筋机构的定位板,所述定位板上开设有与切筋机构配合的定位孔;升降驱动机构,所述升降驱动机构用于控制定位板沿竖直方向移动,使得位于定位孔处的产品与切筋机构接触或者分离;拨料机构,所述拨料机构用于控制产品在定位板上移动;供料机构,所述供料机构用于输送待加工的产品至定位板上;以及,收料机构,所述收料机构用于从定位板上收集已加工的产品。本实用新型能够提高生产效率和加工质量。
主权项:1.一种切筋机,其特征在于,包括:切筋机构;穿过切筋机构的定位板,所述定位板上开设有与切筋机构配合的定位孔;升降驱动机构,所述升降驱动机构用于控制定位板沿竖直方向移动,使得位于定位孔处的产品与切筋机构接触或者分离;拨料机构,所述拨料机构用于控制产品在定位板上移动;供料机构,所述供料机构用于输送待加工的产品至定位板上;以及,收料机构,所述收料机构用于从定位板上收集已加工的产品。
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权利要求:
百度查询: 卓尔半导体设备(苏州)有限公司 切筋机
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