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申请/专利权人:无锡沃格自动化科技股份有限公司
摘要:本实用新型公开一种用于晶圆切膜的切刀快换装置,其包括固定件、快换杆和拉套组件,固定件伸出设置且伸出端内开设有快换腔,快换杆的第一端能拔出或插入地设置于快换腔内,快换杆的底端设置有切刀,拉套组件被配置为在换刀前将快换杆在快换腔内解除固定,拉套组件还被配置为在换刀后将快换杆固定于快换腔内。上述用于晶圆切膜的切刀快换装置在换刀时,拉动滑动套克服弹性复位件的弹力向下滑动,锁紧件远离锁紧凹槽,将快换杆在快换腔内解除固定,再拔出快换杆即可完成拆卸,弹性复位件带动滑动套归位,配合凸台将锁紧件推入锁紧凹槽内,将快换杆固定于快换腔内完成更换,不仅结构简单、设计巧妙,而且拆装方便,大大地节省了拆装时间。
主权项:1.一种用于晶圆切膜的切刀快换装置,其特征在于,所述用于晶圆切膜的切刀快换装置包括固定件、快换杆和拉套组件,其中,所述固定件的第一端连接驱动件,所述固定件的第二端伸出设置且伸出端内开设有快换腔,所述快换杆的第一端能拔出或插入地设置于所述快换腔内,所述快换杆的第二端能拆装地设置有切刀,所述拉套组件被配置为在换刀前将所述快换杆在所述快换腔内解除固定,所述拉套组件还被配置为在换刀后将快换杆固定于所述快换腔内,所述拉套组件包括滑动套、至少一个锁紧件和弹性复位件,所述滑动套能沿高度方向往复移动地套设于所述固定件的第二端的外侧面,所述滑动套的内侧设置有凸台,所述凸台抵靠于所有所述锁紧件,所述弹性复位件的第一端固定于所述固定件的第二端,所述弹性复位件的第二端抵靠于所述凸台上,所述固定件的第二端开设有至少一个锁紧槽,至少一个所述锁紧槽与至少一个所述锁紧件一一对应设置,至少一个所述锁紧件位于对应所述锁紧槽内,对应至少一个所述锁紧件于所述快换杆上开设有至少一个锁紧凹槽,所述滑动套被配置为克服所述弹性复位件的弹力,直至所述凸台远离所有所述锁紧件,使得所有所述锁紧件远离所述锁紧凹槽,从而将快换杆在所述快换腔内解除固定,所述弹性复位件被配置为带动所述滑动套归位,以配合所述凸台将所有所述锁紧件推入所述锁紧凹槽内,从而将所述快换杆固定于所述快换腔内。
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权利要求:
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