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申请/专利权人：乐山市京运通半导体材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，包括两个弧形板，所述两个弧形板之间设有第一弹簧，所述弧形板的内侧设有伸缩杆，所述伸缩杆的伸缩端下方依次连接充气环和清洁组件，所述伸缩杆的顶端与驱动电机连接，所述充气环的内部设有用于收集附着物的收集组件。本实用新型通过设置收集组件和清洁组件，实现对附着物的及时收集，清洁效率高。
主权项：1.一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，其特征在于，包括两个弧形板1，所述两个弧形板1之间设有第一弹簧11，所述弧形板1的内侧设有伸缩杆7，所述伸缩杆7的伸缩端下方依次连接充气环2和清洁组件3，所述伸缩杆7的顶端与驱动电机6连接，所述充气环2的内部设有用于收集附着物的收集组件5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乐山市京运通半导体材料有限公司 一种单晶炉水冷热屏用清洁装置
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