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一种变温探针冷热台扭转机构 

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申请/专利权人:武汉重光科技有限公司

摘要:本实用新型涉及探针冷热台技术领域,且公开了一种变温探针冷热台扭转机构,包括安装板,所述安装板的顶部固定安装有变温台下盖,所述变温台下盖的顶部固定连接有变温台腔体,所述变温台腔体的顶部安装有变温台上盖。该变温探针冷热台扭转机构,通过设置三轴位移机构,三轴位移机构使用后在Y轴位移千分尺、X轴位移千分尺和Z轴位移千分尺的配合工作下,Y轴位移平台沿着Y轴方向进行移动、X轴位移平台沿着X轴方向进行移动、Z轴位移平台沿着Z轴方向进行移动,让扭转位移机构跟着进行Y轴、X轴和Z轴三个方向进行移动,最终使得扭转位移机构中的探针得以调节移动位置,实现在真空低温的前提下,同时测量同一样品不同位置的电学微弱信号。

主权项:1.一种变温探针冷热台扭转机构,包括安装板1,所述安装板1的顶部固定安装有变温台下盖2,所述变温台下盖2的顶部固定连接有变温台腔体3,所述变温台腔体3的顶部安装有变温台上盖4,所述安装板1的顶部且位于变温台下盖2的四周固定安装有基板5,所述变温台腔体3的外表面安装有样品台6,其特征在于:所述基板5上设置有调节与样品接触位置的三轴位移机构7;所述三轴位移机构7上设置有扭转壳体9,所述扭转壳体9上设置有扭转位移机构10。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 武汉重光科技有限公司 一种变温探针冷热台扭转机构

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