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申请/专利权人：台湾光罩股份有限公司
摘要：本发明提供一种微机电探针模块结构，包括：一陶瓷载板及固定于陶瓷载板的多个探针，所述陶瓷载板具有上表面、侧面及下表面，中央具有窗口，所述陶瓷基板设有多条引线，每条所述引线分布在所述上表面、所述侧面及所述下表面且相连在一起，所述下表面设有多个接合区，每条所述引线与对应的接合区相连；每个所述探针包括针尖及针臂，所述针尖设置于所述针臂一端，所述针臂由远离所述针尖的一端焊接于对应位置的所述接合区，使所述针臂呈悬臂状延伸至所述窗口下方且所述针尖朝下。
主权项：1.一种微机电探针模块结构，其特征在于，包括：一陶瓷基板，具有上表面、侧面及下表面，中央具有窗口，陶瓷基板设有多条引线，每条所述引线分布在所述上表面、所述侧面及所述下表面且相连在一起，所述下表面设有多个接合区，每条所述引线与对应的所述接合区相连；多个探针，每个所述探针包括针尖及针臂，所述针尖设置于所述针臂一端，所述针臂由远离所述针尖的一端焊接于对应位置的所述接合区，使所述针臂呈悬臂状延伸至所述窗口下方且所述针尖朝下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾光罩股份有限公司 微机电探针模块结构
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