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一种高优值微机电碟形陀螺及其圆片级真空封装方法 

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申请/专利权人:北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所

摘要:本发明属于陀螺仪领域,具体涉及了一种高优值微机电碟形陀螺及圆片级真空封装方法,旨在解决现有的陀螺仪结构优值不足,零偏变化量过高,零偏稳定性不足的问题。本发明包括:支撑锚点结构和围成同心圆的多个调整电极;所述支撑锚点结构与多个调整电极之间包括多层的同心环结构;每个同心环结构内侧,均通过连接辐条、弹性梁结构和支撑辐条与内层结构连接;其中,第1层的同心环结构的内层结构为支撑锚点结构,非第1层同心环结构的内层结构为第n‑1层同心环结构,n表示同心环结构的层数,弹性梁结构与其外侧的同心环结构层数相同;所述支撑锚点结构、同心环结构、弹性梁结构和多个调整电极围成的圆形共用同一个对称中心。

主权项:1.一种高优值微机电碟形陀螺,其特征在于,所述碟形陀螺包括:支撑锚点结构1和围成同心圆的多个调整电极8;所述支撑锚点结构1与多个调整电极8之间包括多层的同心环结构4;每个同心环结构4内侧,均通过连接辐条2、弹性梁结构6和支撑辐条3与内层结构连接;其中,第1层的同心环结构4的内层结构为支撑锚点结构1,非第1层同心环结构4的内层结构为第n-1层同心环结构4,n表示同心环结构的层数,弹性梁结构与其外侧的同心环结构4层数相同;所述支撑锚点结构1、同心环结构4、弹性梁结构6和多个调整电极8围成的圆形共用同一个对称中心。

全文数据:

权利要求:

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