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申请/专利权人：瑞声开泰科技(武汉)有限公司
摘要：本发明提供了一种全解耦MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于锚点单元的传感单元以及驱动传感单元运动的驱动单元；锚点单元包括位于一矩形中心位置的中心锚点子单元以及四个分别位于中心锚点子单元与矩形四个角之间的侧锚点；驱动单元包括四个分别位于矩形四条边处的驱动件，相邻驱动件之间形成让位间隔，各侧锚点分别位于各让位间隔内；传感单元包括两个对称设置于两个相对的让位间隔内的X质量块、两个对称设置于另外两个相对的让位间隔内的Y质量块、四个分别位于各驱动件外侧的Z质量块、以及四个分别位于各Z质量块外侧的Z检测解耦件，X质量块和Y质量块分别与各侧锚点相连。本发明的陀螺为差分驱动，能够实现差分检测，降低正交误差。
主权项：1.一种全解耦三轴MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于所述锚点单元的传感单元、以及与所述传感单元耦合并驱动所述传感单元运动的驱动单元，其特征在于，所述锚点单元包括位于一矩形中心位置的中心锚点子单元，以及四个分别位于所述中心锚点子单元与所述矩形四个角之间并与所述中心锚点子单元间隔设置的侧锚点；所述驱动单元包括四个分别位于所述矩形四条边处的驱动件，四个所述驱动件绕所述矩形的中心环形排布且对称设置，且每个所述驱动件靠近所述矩形中心的一端均与所述中心锚点子单元弹性连接；相邻的所述驱动件之间形成让位间隔，四个所述侧锚点分别位于各所述让位间隔内；所述传感单元包括两个对称设置于两个相对的所述让位间隔内且弹性连接于对应的两所述驱动件的X质量块、两个对称设置于另外两个相对的所述让位间隔内且弹性连接于对应的两所述驱动件的Y质量块、四个分别位于各所述驱动件外侧并与相邻的所述驱动件弹性连接的Z质量块、以及四个分别位于各所述Z质量块外侧并与相邻的所述Z质量块弹性连接的Z检测解耦件，相邻的所述Z检测解耦件弹性连接；所述X质量块和Y质量块靠近所述矩形中心的一端均与所述中心锚点子单元弹性连接，所述X质量块和Y质量块的中部分别与对应的所述侧锚点弹性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 一种全解耦三轴MEMS陀螺
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