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申请/专利权人：哈尔滨工业大学;哈工大郑州研究院
摘要：一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法，属于多自由度测量技术领域。为解决多自由度测量系统中折叠光路的角度精确解耦，本发明根据多自由度测量系统中各个反射器件的空间位置和角度得到光斑位置传感器的法向量；令入射光绕X轴或Y轴偏转一定角度求得有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标；利用变换矩阵将有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标变换至XOY平面上，得到变换后的交点坐标；利用一个绕Z轴角度为失配角θzd‑z的旋转矩阵，对变换后的交点坐标进行变换使得再次变换的交点坐标的X分量或Y分量为0；利用角度θzd‑z和旋转矩阵构建角度解耦公式，对折叠光路造成的角度耦合误差进行修正。
主权项：1.一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法，其特征在于，利用光束追迹和坐标变换，对多自由度测量系统中的折叠光路引入的角度耦合误差进行量化和修正，包括如下步骤：S1.根据多自由度测量系统中各个反射器件的空间位置和角度，得到光斑位置传感器接收的光束的法向量；S2.令入射光绕X轴或Y轴偏转一定角度，并进行光束追迹，求得有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标；S3.根据步骤S1中得到的光斑位置传感器的法向量，求得变换矩阵，利用变换矩阵将有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标变换至XOY平面上，得到变换后的交点坐标；S4.利用一个绕Z轴角度为失配角θzd-z的旋转矩阵，对步骤S3中变换后的交点坐标进行变换，使得再次变换的交点坐标的X分量或Y分量为0；S5.利用步骤S4得到的角度θzd-z和旋转矩阵构建角度解耦公式，对折叠光路造成的角度耦合误差进行修正。
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权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 哈工大郑州研究院 一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法
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