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申请/专利权人：烟台海博电气设备有限公司
摘要：本发明公开了一种带有温度补偿的MEMS传感器使用方法，属于传感器的技术领域，包括温度补偿电路和温度补偿算法，结合了硬件和软件，在MEMS气体传感器使用过程中，根据环境温度的变化设计相应的温度补偿方法，确保传感器输出结果的可靠与稳定。解决了因环境温度变化影响传感器灵敏度的问题。
主权项：1.一种带有温度补偿的MEMS传感器使用方法，其特征在于：包括温度补偿电路和温度补偿算法；其中温度补偿电路包括MEMS传感器，所述MEMS传感器包括金属氧化物材料的电阻RS和加热电阻RH，MEMS传感器包括加热电极的正端引脚和负端引脚、敏感电极的正端引脚和负端引脚；温度补偿电路还包括三极管和电阻R1，所述三极管与电阻R1并联，所述三极管的集电极连接有稳压电源Vh，三极管的基极外接有脉冲信号，三极管的发射极与MEMS传感器的加热电极的正端引脚连接；温度补偿电路还包括稳压电源Vc和电阻Rc，所述稳压电源的两端分别与敏感电极的正端引脚和负端引脚连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 烟台海博电气设备有限公司 一种带有温度补偿的MEMS传感器使用方法
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