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申请/专利权人：上海泽丰半导体科技有限公司
摘要：本申请提供一种MEMS探针的摆放料盘、自动拾取系统及方法，应用于半导体测试技术及装备技术领域，包括，摆放料盘、两轴正交运动平台、3D工业相机、旋转电机、真空吸嘴、单轴运动平台和测控模块，其中，摆放料盘，包括：硅胶涂覆膜、玻璃掩膜版、背光源和底座。本申请中对MEMS探针的初始摆放要求低，可自动识别MEMS探针的姿态，并根据特制的MEMS探针外形适配夹具实现极高精度的拾取，为诸如MEMS探针质量控制系统和自动植针系统等提供可靠的前置自动化拾取操作。
主权项：1.一种MEMS探针的摆放料盘，其特征在于，包括：硅胶涂覆膜、玻璃掩膜版、背光源和底座；所述背光源镶嵌在所述底座上，所述玻璃掩膜版支撑在所述底座的顶部，所述背光源在所述底座与所述玻璃掩膜版之间，所述硅胶涂覆膜涂覆在所述玻璃掩膜版上；所述玻璃掩膜版上有规则镀铬方格图案，形成多个方格；所述硅胶涂覆膜涂覆在所述方格图案的图案线上，对于任意一个所述方格形成上涂覆层和下涂覆层；所述MEMS探针放置在同一个所述方格的所述上涂覆层和所述下涂覆层之间，通过所述上涂覆层和所述下涂覆层将所述MEMS探针抬高，使MEMS探针与所述玻璃掩膜版不直接接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海泽丰半导体科技有限公司 MEMS探针的摆放料盘、自动拾取系统及方法
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