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申请/专利权人：南京理工大学
摘要：本发明公开了一种基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统，包括信号检测电路、模数转换电路、数字频率控制电路、数字幅值控制电路、乘法器和数模转换电路；信号检测电路与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的检测电极相连；模数转换电路与信号检测电路相连；模数转换电路分别与数字频率控制电路、数字幅值控制电路相连；乘法器分别与数字频率控制电路和数字幅值控制电路相连；数模转换电路与乘法器相连，且与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的驱动电极相连。本发明将机电幅度调制技术应用于MEMS四质量陀螺仪的信号检测电路中，可以有效消除馈通效应和噪声耦合对MEMS四质量陀螺仪性能的影响。
主权项：1.一种基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统，其特征在于，包括：信号检测电路，用于采用机电幅度调制技术检测MEMS四质量陀螺仪谐振子的振动信号；模数转换电路，用于将信号检测电路获得的模拟电信号转换为数字信号；数字频率控制电路，用于跟踪MEMS四质量陀螺仪驱动模态的相位和频率，产生两路参考信号，包括稳频信号和相位反馈信号，实现MEMS四质量陀螺仪谐振子驱动谐振频率的稳定；数字幅值控制电路，用于对模数转换电路输出的驱动轴检测信号进行解调和滤波，以控制MEMS四质量陀螺仪谐振子驱动幅值的稳定；乘法器，用于将数字频率控制电路产生的稳频信号与数字幅值控制电路4产生的驱动电压信号相乘，以实现MEMS四质量陀螺仪驱动模态的稳幅稳频闭环控制；数模转换电路，用于将输出的数字电信号转换为模拟信号，施加至MEMS四质量陀螺仪驱动模态的驱动电极上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京理工大学 基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统
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