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申请/专利权人：皇家飞利浦有限公司
摘要：一种用于压印光刻的质量评估的方法，其基于分析可压印层的质量，这基于对可压印层的粘度的间接检测。所述方法包括压印包括多个图案部分的专用测试图案，包括具有不同宽度和或深度的图案压痕。可压印层的粘度影响其如何流动以填充光刻压印图案，并且较高粘度导致每个沟槽中或压痕图案的每个脊上的非均匀在微米或纳米级层几何构造即，弯曲或弓形。在光学检查的情况下，这种非均匀是可检测的，这是由于由光通过非均匀可压印层表面引起的薄膜干涉图案，以及来自下层基板的背反射，这在捕获的光学图像数据中是可检测的。因此，可压印层的粘度可以经由捕获测试图案的光学图像数据来间接地检测。通过使用具有不同宽度和深度的多个不同图案部分，可以识别粘度相关质量的精确定量度量。
主权项：1.一种在压印光刻中使用的质量控制方法，所述方法包括：使用图案化印模12来使可压印层32图案化，所述印模包括柔韧印模层14，所述柔韧印模层承载限定印模图案的浮雕特征的图案，其中，所述印模图案包括多个图案部分16，所述图案部分彼此间隔开，并且其中，每个图案部分包括图案特征22，所述图案特征用于形成具有相应宽度的至少一个凹陷44，所述相应宽度与其他图案部分的宽度不同；将所述印模施加到可压印层32，所述可压印层被设置在基板34上，所述可压印层包括可固化可压印介质，由此所述可压印层被诱导以与所述印模图案共形；采集所述可压印层中所形成的压印图案的光学成像数据；基于所述光学成像数据并且基于关于所述图案部分的不同凹陷宽度和或深度的知识来导出指示层-印模共形性质量的共形性质量指示符；并且任选地，向用户提供所述共形性质量指示符。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 皇家飞利浦有限公司 用于压印光刻的质量控制方法
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